騰旋：深耕動態(tài)密封領(lǐng)域的旋轉(zhuǎn)接頭核心廠商

   騰旋科技（股票代碼：430602）成立于1999年，是專業(yè)從事動態(tài)密封及液壓傳動產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，也是國內(nèi)具備進(jìn)口替代能力的動態(tài)密封核心產(chǎn)品制造商。公司為工業(yè)和信息化部認(rèn)定的國家專精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)。公司已形成動態(tài)密封、傳動裝置及航空液壓件三大核心業(yè)務(wù)板塊，在工程機(jī)械、盾構(gòu)機(jī)、鋼鐵、造紙等傳統(tǒng)領(lǐng)域持續(xù)鞏固優(yōu)勢的同時，積極向半導(dǎo)體、航空航天、新能源及工業(yè)母機(jī)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)拓展。2025年，公司總投資3.2億元的無錫新總部研發(fā)與生產(chǎn)基地正式開工建設(shè)，將打造集研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化于一體的高端平臺，進(jìn)一步提升企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力與全球化運(yùn)營水平。

技術(shù)能力：持續(xù)突破關(guān)鍵核心技術(shù)

   圍繞動態(tài)密封及流體傳輸關(guān)鍵環(huán)節(jié)，騰旋科技持續(xù)加大研發(fā)投入，構(gòu)建以博士領(lǐng)銜的高水平研發(fā)團(tuán)隊(duì)，建有省級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及多個省級創(chuàng)新平臺。截至2025年末，公司擁有有效專利129項(xiàng)，其中發(fā)明專利28項(xiàng)，主持或參與制定4項(xiàng)國家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《旋轉(zhuǎn)接頭》（JB/T8725-2013）的起草單位。在長期技術(shù)積累基礎(chǔ)上，公司在高轉(zhuǎn)速密封、耐腐蝕材料應(yīng)用、低泄漏控制及復(fù)雜工況適配等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，核心產(chǎn)品性能達(dá)到國內(nèi)一定水平，具備對標(biāo)并逐步替代進(jìn)口產(chǎn)品的能力。

產(chǎn)品體系：多系列產(chǎn)品覆蓋關(guān)鍵應(yīng)用場景

   圍繞高端裝備與半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵需求，公司已形成多系列旋轉(zhuǎn)接頭及密封產(chǎn)品體系，廣泛應(yīng)用于晶圓制造及高端裝備關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)：

CMP晶圓拋光專用旋轉(zhuǎn)頭

特點(diǎn):

1) 低泄漏量，確保設(shè)備長時間吸附工件；

2) 尺寸小，有利于降低客戶設(shè)備高度；

3) 低啟動扭矩，設(shè)備啟動平穩(wěn)；

4) 發(fā)熱量低，可長期在封閉空間安裝；

5) 模塊化設(shè)計(jì)，降低客戶采購成本；

6) 壽命長，采用機(jī)械密封;

型號：MSA08R03

晶圓減薄設(shè)備專用旋轉(zhuǎn)接頭

特點(diǎn):

1) 抗粉塵能力強(qiáng)。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適用于輸送含粉塵及顆粒物的液體，對流體潔凈度無高要求；

2) 低啟動扭矩，設(shè)備啟動平穩(wěn)；

3) 模塊化設(shè)計(jì)，降低客戶采購成本；

4) 尺寸小，有利于降低客戶設(shè)備高度；

5) 發(fā)熱量低，可長期在封閉空間安裝；

MSC3005R05

MSC3005R05為一款中空無主軸旋轉(zhuǎn)接頭，中心孔需要安裝到客戶機(jī)主軸，客戶機(jī)主軸需要開設(shè)過流體孔。該型旋轉(zhuǎn)接頭能夠和客戶機(jī)主軸集成，使得客戶設(shè)備更集成。大通道數(shù)量為5。

該型旋轉(zhuǎn)接頭采用機(jī)械密封設(shè)計(jì)。中心孔直徑為φ29。

高速旋轉(zhuǎn)接頭

特點(diǎn):

1) 轉(zhuǎn)速高達(dá)3000rpm，

2) 扭矩較小；

3) 壽命長，采用特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，配有自動風(fēng)冷散熱，近乎無摩擦旋轉(zhuǎn)；

4) 結(jié)構(gòu)緊湊，適合狹小空間安裝；

5) 軸向跳動小，特別適用于劃片機(jī)。

型號：MSG02R05

冷卻專用旋轉(zhuǎn)接頭

特點(diǎn):

1) 流阻小，通徑大；

2) 零泄漏，不用擔(dān)心污染車間環(huán)境；

3) 低啟動扭矩，設(shè)備啟動平穩(wěn)；

4) 空心主軸，尾部可串聯(lián)電滑環(huán)，中心孔用于穿電纜；

5) 尺寸小，有利于降低使用設(shè)備高度。

MSD02R08A

耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿旋轉(zhuǎn)接頭

特點(diǎn):

1) 可通入強(qiáng)酸和強(qiáng)堿溶液，流道材質(zhì)、機(jī)封材料及O型圈采用耐腐蝕材質(zhì)；

2) 具有一定耐顆粒污染物性能；

3) 外形尺寸小；

4) 轉(zhuǎn)速可達(dá)600rpm，需要外接冷卻循環(huán)水；

型號：MSE04R06  

ECD設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭

特點(diǎn):

1) 電滑環(huán)與液滑環(huán)集成一體，體積小；

2) IP54防護(hù)等級；

3) 轉(zhuǎn)速高達(dá)1000rpm；

4) 扭矩小。

型號：MSH02R03

應(yīng)用實(shí)踐：深度融入半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈

    騰旋科技產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備及高端裝備制造領(lǐng)域，并成功進(jìn)入多家行業(yè)龍頭企業(yè)供應(yīng)體系。主要客戶包括北方華創(chuàng)、華海清科、晶盛機(jī)電、芯豐精密、邁為科技、拓荊科技、先導(dǎo)智能等半導(dǎo)體及裝備領(lǐng)域頭部企業(yè)，同時服務(wù)于中國航發(fā)、中航工業(yè)、中國電科等國家重點(diǎn)單位。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司產(chǎn)品在CMP拋光、晶圓減薄、劃片等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用，有效提升設(shè)備穩(wěn)定性與可靠性，支撐國產(chǎn)高端裝備持續(xù)迭代升級。

產(chǎn)業(yè)價值：補(bǔ)強(qiáng)關(guān)鍵零部件環(huán)節(jié)

    動態(tài)密封及旋轉(zhuǎn)接頭作為高端裝備的重要基礎(chǔ)部件，是保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。長期以來，該領(lǐng)域高端產(chǎn)品主要依賴進(jìn)口。騰旋科技通過持續(xù)技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)品創(chuàng)新，在關(guān)鍵零部件領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，有效推動高端密封產(chǎn)品國產(chǎn)替代進(jìn)程，提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控水平。

    未來，騰旋將持續(xù)深耕半導(dǎo)體及高端裝備領(lǐng)域，強(qiáng)化核心技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新，不斷提升產(chǎn)品性能與應(yīng)用能力，為集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

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